ASTM F 1530-2002 用自动无触点扫描法测量硅片平整度、厚度和厚度变化的标准试验方法
时间:2024-05-20 10:58:50 来源: 标准资料网 作者：标准资料网 阅读：9545
【英文标准名称】:StandardTestMethodforMeasuringFlatness,Thickness,andThicknessVariationonSiliconWafersbyAutomatedNoncontactScanning
【原文标准名称】:用自动无触点扫描法测量硅片平整度、厚度和厚度变化的标准试验方法
【标准号】:ASTMF1530-2002
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:2002
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:探测法;半导体;薄片;平整度;硅;厚度;试验
【英文主题词】:thickness;semiconductors;probemethods;wafers;flatness;silicon;tests
【摘要】:
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:12P;A4
【正文语种】:英语
【英文标准名称】:Testingofstarch;determinationofsulphurdioxide,Monier-Williams-method
【原文标准名称】:淀粉检验.二氧化硫含量的测定.莫尼尔-威廉斯氏法(Monier-William)
【标准号】:DIN10305-1-1969
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1969-06
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:碳水化合物;农业;淀粉;分析;淀粉制品;试验;二氧化硫;食品
【英文主题词】:starches;testing;starchproducts;agriculture;analysis;starch;foodproducts;sulphurdioxide;carbohydrates
【摘要】:
【中国标准分类号】:X11
【国际标准分类号】:5703
【页数】:2P;A4
【正文语种】:德语
【英文标准名称】:Partslists,datalists,andindexlists
【原文标准名称】:分类表,数据表和索引表
【标准号】:ASMEY14.34M-1989
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:1989
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国机械工程师协会(ASME)
【起草单位】:ASME
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:文献;文献工作;纸张规格;布置;数据;表;索引(文献)
【英文主题词】:indexes(documentation);documentations;lists;documents;layout;papersizes;data
【摘要】:
【中国标准分类号】:A14
【国际标准分类号】:01_140_30
【页数】:23P;A4
【正文语种】:英语